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LPCVD production reator contamination by particles

Problems encountered

Substrates contaminated by solid particles, leading to a decline in productivity.

 Objective

Increase productivity.

 Solutions

  • Examine the reasons for substrate contamination. The complex nature of the furnace and the influence of gravity (natural convection, particle weight) call for a 3D simulation.
  • Optimisation of pumping and filling conditions.
This study was carried out in association with ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY France
Ce type d'étude a été appliqué aux procédés Appliqué aux procédés « nitrure », « poly », « TeOs »
 
Cette étude a été réalisée en collaboration avec ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY France
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