Problems encountered
Substrates contaminated by solid particles, leading to a decline in productivity.
Objective
Increase productivity.
Solutions
- Examine the reasons for substrate contamination. The complex nature of the furnace and the influence of gravity (natural convection, particle weight) call for a 3D simulation.
- Optimisation of pumping and filling conditions.
This study was carried out in association with ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY France
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Ce type d'étude a été appliqué aux procédés Appliqué aux procédés « nitrure », « poly », « TeOs »
Cette étude a été réalisée en collaboration avec ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY France |