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Contamination particulaire dans un réacteur LPCVD

Problème rencontré

Contamination des substrats par des particules solides, entraînant une baisse de productivité.

 Objectif

Augmenter la productivité.

 Solutions

  • Caractériser les phénomènes engendrant la contamination des substrats. La complexité du four et l’influence de la gravité (convection naturelle, poids des particules) impose une simulation 3D.
  • Optimisation des conditions de pompage et remplissage.

Ce type d'étude a été appliqué aux procédés Appliqué aux procédés « nitrure », « poly », « TeOs »
 
Cette étude a été réalisée en collaboration avec ALCATEL VACUUM TECHNOLOGY France
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