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Chimie des fluides - Ecoulement réactif

Etude d'un réacteur de LPCVD

Problème rencontré

Dépôts solides ailleurs que sur les substrats, entraînant des coûts de maintenance et une baisse de productivité (contamination par des particules solides).

Objectif

Augmenter la productivité, diminuer les coûts de maintenance.

Solutions

Quantifier les dépôts source de contamination, puis étudier la dynamique des phases de pompage et remplissage du four (voir contamination)
Une représentation 3D est nécessaire.
La réactivité est représentée par un modèle cinétique simplifié issu d’une étude bibliographique et adapté aux conditions du four simulé.
L’ensemble de la démarche est validée par le dépôt sur les substrats, bien connu du client.

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