Simulation de plasma froid

Les plasmas froid sont utilisés depuis longtemps par l'industrie car ils permettent des dépôts, gravures ou traitements de surfaces non accessibles avec des procédés physico-chimiques classiques. De nombreuses recherches ont été réalisées depuis 20 ans, elles ont apporté de nombreuses données sur la composition de ces plasmas.
Bien que les phénomènes permettant de comprendre le comportement des plasmas soient complexes, ils peuvent être simulés pour prévoir l'homogénéïté et l'efficacité des points de fonctionnement.

Aide à la conception de procédés de traitement de surfaces

Lors de la conception d'un procédé de traitement de surface, l'homogénéïté du traitement est mal maitrisée. La simulation permet de déterminer les paramètres importants puis d'optimiser le procédé.

Densité électronique d'un plasma d'Argon utilisé en traitement de surface. On distingue une amorce d'arc. Les pièces traitées sont en dessous du plasma, hors image.

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